1. Głowa wykrywania lasera i stadium skanowania próbek są zintegrowane, struktura jest bardzo stabilna, a anty-interferencja jest silna
2. Urządzenie do pozycjonowania sondy, regulacja wyrównania punktów laserowych jest bardzo łatwa
3. Próbka napędu osi single automatycznie zbliża się do sondy pionowo, tak że końcówka igły jest prostopadła do skanowania próbki
4. Inteligentna metoda karmienia igły sterowanego silnikowym ciśnieniem piezoelektrycznym ceramicznym automatycznym detekcją chroni sondę i próbkę
5. Automatyczne pozycjonowanie optyczne, nie musisz się skupić, obserwacja w czasie rzeczywistym i pozycjonowanie obszaru skanowania próbki sondy
6. Metoda odporności na zawieszenie sprężyny, prosty i praktyczny, dobry efekt odporny na wstrząsy
7. Solidowane pudełko na ekranach metalowych, wbudowany wysokowydajny czujnik temperatury i wilgotności, monitorowanie środowiska roboczego w czasie rzeczywistym
8. Zintegrowane nieliniowe edytor korekcji skanera, charakterystyka nanometru i dokładność pomiaru lepsza niż 98%
Tryb pracy | Tryb dotknięcia, tryb dotknięcia |
Tryb opcjonalny | Tarcie/siła boczna, amplituda/faza, siła magnetyczna/elektrostatyczna |
Krzywa widma siły | Krzywa siły FZ, krzywa RMS-Z |
Zakres skanowania XY | 20*20um, opcjonalnie 50*50um, 100*100um |
Zakres skanowania Z. | 2,5um, opcjonalnie 5um, 10um |
Rozdzielczość skanowania | Poziome 0,2 nm, pionowe 0,05 nm |
Wielkość próbki | Φ ≤90 mm, h. ≤ 20 mm |
Przykładowy podróż na scenie | 15*15 mm |
Obserwacja optyczna | 4x obiektyw obiektywu/rozdzielczość 2,5um |
Prędkość skanowania | 0,6 Hz-30Hz |
Kąt skanowania | 0-360 ° |
Środowisko operacyjne | System operacyjny systemu Windows XP/7/8/10 |
Interfejs komunikacyjny | USB2.0/3.0 |
Projektowanie szokujące | Spring zawieszony/metalowy osłonięty pudełko |