1. Zintegrowany projekt optyczny mikroskop metalograficzny i mikroskopu siły atomowej, potężne funkcje
2. Ma zarówno mikroskop optyczny, jak i funkcje obrazowania mikroskopu siły atomowej, które mogą działać jednocześnie bez wpływu
3. Może jednocześnie pracować w zwykłym środowisku powietrznym, środowisku ciekłym, środowisku kontroli temperatury i środowisku gazu obojętnego
4. Tabela skanowania próbek i głowica wykrywania laserowego są zaprojektowane w typu zamkniętym, a specjalny gaz można wypełnić i rozładować w środku, bez dodawania pokrywy uszczelnienia
5. Wykrywanie laserowe przyjmuje pionową konstrukcję ścieżki optycznej i może działać pod cieczą z podwójnym pączkiem gazowym
6. Próbka napędu jednoosiowego automatycznie podchodzi do sondy w pionie, tak że końcówka igły jest skanowana prostopadle do próbki
7. Inteligentna metoda karmienia igły sterowanego silnikiem ciśnienie piezoelektryczne ceramiczne automatyczne wykrywanie chroni sondę i próbkę
8. Ultra-wysokie powiększenie systemu pozycjonowania optycznego w celu osiągnięcia precyzyjnego pozycjonowania sondy i obszaru skanowania próbek
9. Zintegrowany nieliniowy edytor korekcji skanera, dokładność charakterystyki nanometru i dokładność pomiaru lepsze niż 98%
Specyfikacje:
Tryb pracy | Tryb dotknięcia, tryb dotknięcia |
Tryb opcjonalny | Tarcie/siła boczna, amplituda/faza, siła magnetyczna/elektrostatyczna |
Krzywa widma siły | Krzywa siły FZ, krzywa RMS-Z |
Zakres skanowania XY | 50*50um, opcjonalnie 20*20um, 100*100um |
Zakres skanowania Z. | 5um, opcjonalnie 2um, 10um |
Rozdzielczość skanowania | Poziome 0,2 nm, pionowe 0,05 nm |
Wielkość próbki | Φ ≤68 mm, h. ≤ 20 mm |
Przykładowy podróż na scenie | 25*25 mm |
Okular optyczny | 10x |
Cel optyczny | 5x/10x/20x/50x plan apochromatyczny |
Metoda oświetlenia | System oświetlenia Le Kohler |
Koncentracja optyczna | Szorstki ręczny skupienie |
Kamera | Czujnik CMOS 5MP |
wyświetlacz | 10.1 cali wyświetlacz płaskiego panelu z funkcją pomiaru powiązanego z wykresem |
Sprzęt grzewczy | Zakres kontroli temperatury: temperatura pokojowa ~ 250 ℃ (opcjonalnie) |
Zintegrowana platforma gorąca i zimna | Zakres kontroli temperatury: -20 ℃ ~ 220 ℃ (opcjonalnie) |
Prędkość skanowania | 0,6 Hz-30Hz |
Kąt skanowania | 0-360 ° |
Środowisko operacyjne | System operacyjny systemu Windows XP/7/8/10 |
Interfejs komunikacyjny | USB2.0/3.0 |